超纯水机，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
超纯水机又称做：超纯水器，超纯水设备，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。
超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.25兆欧。
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进水水源： 总溶解性固形物含量TDS<200ppm，水压1.0-5.0kg/cm2，水温25℃
制水量： 10L/20L/30L/50L/100L/200L/小时
出水流速：
1.5-1.8升/分钟（水箱储水时）
RO出水水质： 电导率2-10μs/cm
UP出水水质： 电阻率10-18MΩ.cm（在线监测），重金属离子<0.1ppb，总有机碳（TOC）<30ppb
微颗粒物<1个/ml（选配sartorius 0.45+0.2μm终端微滤器），微生物<1cfu/ml（选配sartorius 0.45+0.2μm终端微滤器）
实验室用超纯水机：实验室使用超纯水机采用了多级膜分离、紫外消解、单片机等先进技术工艺，具有安全可靠、性能稳定、使用方便、运行费用低廉的特点，是一套能完全替代传统的蒸馏、离子交换和进口纯水机的智能化系统，产品质量优异。
工业用纯水机：工业纯水机由预处理系统、精处理系统、后处理系统三大部分组成。原水经石英砂单元、活性炭单元、软水器单元等预处理系统后，使水中的悬浮物（颗粒物质）、胶体、有机物、硬度、微生物等杂质含量大大降低，以减轻后续的反渗透、电除盐等精处理系统的处理负荷，延长其使用寿命。